Wafer와 Edge Ring사이 전위차에 의한 Micro Arcing 발생 개선에 관한 연구

박지현 ,  임동민 ,  권오익

대한전자공학회 학술대회

2022 .11

대형유도전동기용 단락고리 제조를 위한 구리의 냉간 링롤링 공정설계 연구

이성원 ,  조재완 ,  강민영 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

Study for Application of Cold Ring Rolling of Copper for End Ring manufacturing of Induction Motor

S. W. LEE ,  J. W. Jo ,  Y. J. Kim 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

포커스 링 재질과 구조 차이에 따른 식각률 분석을 통한 건식 식각 장비 사용 주기 연장 연구

김성유 ,  최현선 ,  양민호

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

산화막 CMP에서 리테이닝 링의 인서트 재질이 연마정밀도에 미치는 영향

박기원 ,  박동삼

한국기계가공학회지

2019 .08

EVALUATION OF RING MEDIA BEHAVIOR BY VISUALIZATION OF VIBRATION MILL USING RING MEDIA

Daiki NAGAI ,  Takehiko TAKAHASHI

AFORE

2017 .11

CMP용 리테이닝 링의 재질이 웨이퍼의 연마성능에 미치는 영향

박기원 ,  김은영 ,  박동삼

한국기계가공학회지

2020 .03

은 나노와이어 특성에 따른 커피 링 현상에 대한 실험적 연구

강기호 ,  Xiaofeng Wang ,  성백훈 외 2명

한국가시화정보학회지

2017 .08

반도체 에칭 공정용 플라즈마 가스 제어 장치 구조 해석 Ⅱ

박상현 ,  이원석 ,  조준현 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

HARC Etch공정의 SiC Focus Ring을 재생 및 통계적 분석을 통한 재사용 가능 여부에 대한 연구

이진실 ,  정현재 ,  권오익

대한전자공학회 학술대회

2022 .11

CMP 에서 리테이너 링의 내경이 웨이퍼 에지 프로파일에 미치는 영향

이종우 ,  이창석 ,  정선호 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

유한요소해석을 이용한 계단식 캡 구조를 갖는 반지 내경 확장 장치의 설계

장재웅 ,  박영윤 ,  주현기 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

유한요소해석을 통한 CMP 헤드의 압력분포제어 링의 설계

박병준 ,  김현진 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

다단패스 연속성형 프로파일 링밀 시스템 개발

신준호 ,  성낙문 ,  박창규 외 2명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2018 .10

원주 분극 압전 링 트랜스듀서 해석을 위한 방사 분극 링 유효 물성 도출

이학수 ,  조치영 ,  박성철 외 2명

한국음향학회지

2019 .01

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

대용량 관측 데이터 처리를 위한 링 버퍼 성능 평가 및 고찰

송민규 ,  강용우 ,  김효령

대한설비관리학회지

2021 .12

A Numerical Study on the Effects of Ring Rolling on Materials

Youngjin Seo

한국기계가공학회지

2020 .08

Wafer Pattern Recognition Using a 3D Image Processing Method in Semiconductor Manufacturing Process

송승환 ,  백준걸

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

고전압 전력반도체 소자 개발을 위한 단위공정 링패턴설계 최적화에 대한 연구

최규철 ,  김덕열 ,  김봉환 외 1명

전기전자재료학회논문지

2023 .03