지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.2
- 수록면
- 218 - 218 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (13)
2017
2016
2014
2012
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
-
유한한 크기를 가지는 유도 결합 플라즈마에서 비충돌 가열 매커니즘 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
-
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
CFD-ACE+를 사용한 AMAT DPS II와 Sym3의 SiO₂ 식각 균일도 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
진공 플라즈마 용사의 공정 조건에 대한 수치 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
유도 결합 플라즈마에서 웨이퍼 표면의 부유 전위 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
-
이중주파수 유도결합 플라즈마에서 모드전이 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
-
유도결합플라즈마 분광법을 이용한 고순도 알루미나 분석기술
한국분석과학회 학술대회
2020 .06
-
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
유도결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 전자기장 전산모사와 플라즈마 방전 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
유도 결합 플라즈마 분광법을 이용한 게르마늄 미량 분석에 관한 연구
한국분석과학회 학술대회
2019 .11
-
유도결합플라즈마 질량분석기(ICP-MS)를 활용한 나노 입자 및 단일 세포 분석
한국분석과학회 학술대회
2018 .11
-
저온 대기압 플라즈마 발생 및 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-420-002452358