공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구

김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

3D Simulation을 통한 Segment Dielectric Window Inductivity Coupled Plasma (SDWICP) 특성 연구

조성환 ,  김도한 ,  이호준

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Development of metal-complexed antibacterial window-screen

Young min Jeon ,  Woonjung Kim ,  Seungho Lee

한국분석과학회 학술대회

2019 .05

Inductively Coupled Plasma 장치를 활용한 Ar, Ar/O₂ 방전에서 metastable 아르곤 특성 파악

김환호 ,  천청빈 ,  이해준

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Electrical Characteristics of Inductively Coupled Plasma Sources using Magnetic Resonance Wireless Power Transmission System

Ju-Ho Kim ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Determination of heavy metal in oversea and domestic cosmetics

Suun Kim ,  Misun Kim ,  Samju Jung 외 3명

한국분석과학회 학술대회

2022 .11

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Interpretation of current decrease during E - H mode transition in a cylindrical inductively coupled plasma

Jun-Hyeon Moon ,  Ho-Jun Moon ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

유도 결합 플라즈마에서 E - H 모드 전이 중 안테나 전류 감소와 히스테리시스 발생

문준현 ,  김경현 ,  이무영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Characterization of inductively coupled Ar/CH4 plasma using tuned single langmuir probe and fluid simulation

차주홍 ,  한문기 ,  김동현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Brief Review of Atomic Layer Etching Based on Radiofrequency-Biased Ar/C₄F₆-Mixture-Based Inductively Coupled Plasma Characteristics

Min Young Yoon ,  Hee Jung Yeom ,  Jong-Ryul Jeong 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2023 .03

Effect of rf bias power on plasma density and electron heating in inductively coupled plasma (ICP)

이호원 ,  김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

A Study on Window Function Preferences by Space Within House

So Yeon Yang ,  Hye Jeong Kim ,  Tae Kyung Lee

한국주거학회 국제학술대회논문집

2015 .04

A Study on Window Function Preferences by Space Within House

So Yeon Yang ,  Hye Jeong Kim ,  Tae Kyung Lee

한국주거학회 학술대회논문집

2015 .04

Charterization of large-area N₂/NH₃/SiH₄ inductively coupled plasma using fluid simulation

서권상 ,  김동현 ,  이호준

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

산업공정 플라즈마에서 극판 전력이 플라즈마 변수에 미치는 영향

이효창

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Etching of Ta₂O₅ thin films by inductively coupled plasma

Gwan-Ha Kim ,  KyuSung Heo

한국분석과학회 학술대회

2024 .11