OES 정보와 신경망을 이용한 플라즈마 식각률 비균일도의 모델링

권민지; 김병환

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저자정보: 권민지 김병환

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 대한전기학회 정보 및 제어 학술대회 논문집

발행연도: 2007.10

수록면: 403 - 404 (2page)

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OES 정보와 신경망을 이용한 플라즈마 식각률 비균일도의 모델링

권민지 , 김병환 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료

OES 정보와 신경망을 이용한 플라즈마 식각률 비균일도의 모델링

권민지 , 김병환 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료

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