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Analysis of a-IGZO channel layer deposited via Pulsed-DC sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Annealing 변화에 따른 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Deposition technique of IGZO film for large sputtering cathode
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Ar 유량변화에 따른 구조적 광학적 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Pulsed-DC Sputtering을 이용한 a-IGZO TFT 특성 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Characteristic of Cu Film Controlled by Pulsed Power Using Magnetron Sputter System
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Electrical characteristics of the IGZO-SiO₂ interface in IGZO thin-film transistors
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Improvement of the a-IGZO TFT stability by an irradiation of negatively charged beam during the RF sputtering process
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
A study on the effect of Cu amount thin films prepared by magnetron sputtering with Mo-Cu single alloying target
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
The improvement of electrical properties of a-IGZO oxide semiconductors With Ca doped Cu source/drain electrode
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Properties of IGZO-based oxided TFTs fabricated by sputtering and electron beam irradiation process
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Optimizing of a-IGZO TFT according to Pulse Duty ratio of Pulse-RF and Pulse-DC
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Optimization for electrical and structural properties of aluminum thin films deposited on glass by DC magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Pulsed Dual Frequency ICP Antenna를 이용하여 증착된 IGZO 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Preparation of thin Cu-Fe-Ni composites film by magnetron sputtering and their temperature dependence of electromagnetic properties
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
The Effects of a Thermal Annealing Process in IGZO Thin Film Transistors
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Effect of TiO2 buffer layer on the electrical and optical properties of IGZO/TiO2 bi-layered films
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Effect of Pressure in Rapid Thermal Annealing on the Conduction of a-IGZO film
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
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