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- 발행연도
- 2021.2
- 수록면
- 206 - 206 (1page)
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The characteristics of a-IGZO thin films deposited by Pulsed-DC magnetron sputtering and RF magnetron sputtering were analyzed. The effect of the characteristics of thin films on the electrical characteristics of TFT devices according^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548855');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
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