ALD로 저온에서 증착된 TiO2 박막의 막질에 대한 연구

박원희; 신정우; 양병찬; 박만진; 장동영; 안지환

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박원희 신정우 양병찬 박만진 장동영 안지환

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제23권 제2호

발행연도: 2016.1

수록면: 43 - 47 (5page)

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본 논문은 저온(<150oC)에서 원자층 증착법(ALD)으로 증착된 TiO2 박막의 물리적, 화학적 막질에 대한 연구결과를 보여준다. TiO2의 ALD는 TTIP(Titanium(IV)isopropoxide)와 물을 이용하여 진행되었다. 150oC 미만에서 증착시, ALD TiO2의 성장률은 약 0.3 Å/cycle로 증착 온도 및 위치에 상관없이 거의 일정한 성장률을 보였다. 또한 SEM분석에서는 200oC 이상에서의 증착과 대조적으로, 150oC 미만에서 증착된 박막은 부드러운 표면을 보였다. 투과전자현미경(TEM) 분석을 통해 이러한 특징이 저온에서 균질한 비정질의 막이 증착되었기 때문이라는 점을 알 수 있었다. 또한 저온 증착임에도 불구하고 종횡비가 1:75인 고종횡비 구조에도 80% 이상의 형상 적응성을 보였다. 그러나 저온 증착의 영향으로 X-선 광전자 분광기(XPS) 분석을 통해 4~7 at% 정도 함량의 탄소 불순물이 검출됨을 확인하였다.

#Atomic Layer Deposition #Low-Temperature Deposition #TiO2 #Thin Film

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

송오성 / 2008 / 저온 ALD로 제조된 TiO₂나노 박막 물성 연구 / 한국재료학회지 18(10):515~520

이태영 / 2014 / TiO2 나노입자가 혼합된 봉지재를 적용한 LED 패키지의 광효율 특성 평가 / 마이크로전자 및 패키징학회지 21(3):31~35

Ho Chang / 2015 / Highly-Ordered Arrays of TiO2 Thin Film for Dye-Sensitized Solar Cells Fabricated by Anodic Oxidation Process / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 16(7):1251~1255

Ho Chang / 2014 / Anti-Wear and Friction Properties of Nanoparticles as Additives in the Lithium Grease / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 15(10):2059~2063

김봉민 / 2015 / Design and Fabrication of Printed Electrowetting-on- Dielectric Device / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 16(5):989~995

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