Interpretation of current decrease during E - H mode transition in a cylindrical inductively coupled plasma

Jun-Hyeon Moon ,  Ho-Jun Moon ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구

김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Effects of the Capacitive Field in an Inductively Coupled Plasma Discharge

HeeHwan Choe

Applied Science and Convergence Technology

2017 .09

Effect of rf bias power on plasma density and electron heating in inductively coupled plasma (ICP)

이호원 ,  김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

이중주파수 유도결합 플라즈마에서 모드전이 연구

김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Metal window를 갖는 평판형 유도 결합 플라즈마 장치에 대한 고찰

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Inductively Coupled Plasma 장치를 활용한 Ar, Ar/O₂ 방전에서 metastable 아르곤 특성 파악

김환호 ,  천청빈 ,  이해준

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Inductively Coupled Plasma Discharge Simulation for the Semiconductor Process Considering Impedance Calculation in 3D Asymmetric Structure

Yejin Shon ,  So ,  a Lee 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .03

Surface Coil with an Inductively Coupled Wireless Surface and Volume Coil for Improving the Magnetic Field Sensitivity at 400-MHz MRI

Jeung-Hoon Seo ,  Jae Jun Lee ,  Kyoung-Nam Kim

Journal of Magnetics

2018 .06

Brief Review of Atomic Layer Etching Based on Radiofrequency-Biased Ar/C₄F₆-Mixture-Based Inductively Coupled Plasma Characteristics

Min Young Yoon ,  Hee Jung Yeom ,  Jong-Ryul Jeong 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2023 .03

Electrical Characteristics of Inductively Coupled Plasma Sources using Magnetic Resonance Wireless Power Transmission System

Ju-Ho Kim ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Birdcage Coil with Inductively Coupled RF Coil Array for Improving |B₁|-Field Sensitivity In 7-T MRI

Jong-Deok Byun ,  Jeung-Hoon Seo ,  Taewon Kang 외 2명

Journal of Magnetics

2017 .09

산업공정 플라즈마에서 극판 전력이 플라즈마 변수에 미치는 영향

이효창

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Etching of Ta₂O₅ thin films by inductively coupled plasma

Gwan-Ha Kim ,  KyuSung Heo

한국분석과학회 학술대회

2024 .11

유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향

김태우 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02