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최진우 (광운대학교) 박혜진 (광운대학교) 이예슬 (광운대학교) 조태훈 (광운대학교) 황상혁 (광운대학교) 김우재 (광운대학교) 윤명수 (광운대학교) 차성덕 (원우시스템즈) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 제50회 한국진공학회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2016.2
수록면
215 - 215 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2016

플라즈마 방출광 진단을 이용한 플라즈마 진단 및 제어에 관한 연구
최진우 ,  박혜진 ,  이예슬 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2016.02 학술대회자료
IGZO박막 증착 공정에서 플라즈마 방출광 모니터링 및 플라즈마 균일도 제어
최진우 ,  황상혁 ,  김우재 외 9명 반도체디스플레이기술학회지 2016.01 학술저널

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#Plasma diagnostics #OES(Optical Emission Spectroscopy) #Process control

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