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길유정 (성균관대학교) 김두산 (성균관대학교) 김주은 (성균관대학교) 장윤종 (성균관대학교) 김예은 (성균관대학교) 염근영 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제59회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.8
수록면
94 - 94 (1page)

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2020

OF₂/NH₃ 리모트 플라즈마를 이용한 실리콘 산화물 식각 공정
길유정 ,  김두산 ,  김주은 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.08 학술대회자료
OF₂/NH₃ 리모트 플라즈마를 이용한 실리콘 산화물의 순환형 식각 공정
길유정 ,  김두산 ,  김주은 외 3명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020.06 학술대회자료

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#dry etching #oxygen difluoride (OF₂) #silicon oxide (SiO₂) #remote plasma

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김두산 ,  김예은 ,  장윤종 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2021 .02

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