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이진호 (충남대학교) 성인호 (충남대학교) 김시준 (나노텍 광전자 연구소) 이장재 (충남대학교) 이영석 (충남대학교) 조철희 (충남대학교) 이상호 (충남대학교) 정원녕 (충남대학교) 유신재 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
102 - 102 (1page)

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반도체 식각 공정에서, 웨이퍼 존재에 따라 쉬스 형상에 굴곡이 생기게 되는데, 이로 인한 식각 프로파일에 각도 변화를 쉬스 렌즈 효과라고 한다. 본 연구에서는 축전 결합형 C<sub>4</sub>F<sub>8</sub>/Ar 플^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548753');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#식각 #각도 #쉬즈 #플라즈마

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