발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구

김우재; 권희태; 김지환; 방인영; 박연수; 온범수; 신기원; 권기청

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저자정보: 김우재 (광운대학교) 권희태 (광운대학교) 김지환 (광운대학교) 방인영 (광운대학교) 박연수 (광운대학교) 온범수 (광운대학교) 신기원 (광운대학교) 권기청 (광운대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제59회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2020.8

수록면: 104 - 104 (1page)

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2021

삼불화질소의 플라즈마 반응성 이온 식각 특성 연구

김우재 , 방인영 , 김지환 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2021.02 학술대회자료

2020

발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구

김우재 , 권희태 , 김지환 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.08 학술대회자료

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