L- Hydrofulorocarbon Plasma를 이용한 Dielectric 식각 물질 연구

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저자정보: 탁현우 (성균관대학교) 홍인표 (성균관대학교) 성다인 (성균관대학교) 이채린 (성균관대학교) 문룡 (성균관대학교) 김동우 (성균관대학교) 염근영 (성균관대학교)

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#3DNAND #L-Hydrofulorocarbon Plasma #L-FC #Global Warming Potential (GWP) #Capacitively Coupled Plasma Etch

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